烟气中NOx的主要组成是NO（占95%），NO难溶于水，而高价态【的NO₂、N₂O₅等可溶于水生成HNO₂和 HNO₃，溶解能力大大提高，从而可与后期的＠SO₂同时吸收，达到同时脱硫脱硝的目的。

臭氧作为一种清洁「的强氧化剂，可以快速有效地将NO氧化到高价态。电子束法和脉冲电晕法虽然能够产生强氧化剂物质，如·OH、·HO₂等，但工←作环境恶劣，自由基存活时间非常短，能耗较高。O₃的生存▆周期相对较长，将少量氧气或空气电离后产生O₃，然后送入烟气中，可显著降低能耗。

一、工艺原理：

臭氧的氧化能力极强，臭氧的氧ω化还原电位仅次于氟，比过氧化氢、高锰酸钾等都高。此外，臭氧的反应产物是氧气，所以它是一种高效清洁的强氧化剂，将不可溶的低价态氮氧化物氧∞化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸ω　收，达到脱除的目的。

二、反应过程：

低温条件下，O3与NO之间的关键氧化反应如下：

NO+O3→NO2+O2                           

NO2+O3→NO3+O2                          

NO3+NO2→N2O5                           

NO+O+M→NO2+M                           

NO2+O→NO3                              

脱硝吸收主要反应原理如下：

NO+NO2+H2O→2H++2NO2-                     

2NO2+H2O→2H++NO2-+NO3-                   

N2O5+H2O→2H++2NO3-                       

NO3-+NO→NO2-+NO2                         

2H++CO32-→H2O+CO2                        

H++OH-→H2O                               

与气相中的其他◆化学物质如CO，SOx等相比，NOx可以很快地被臭氧氧化，这就使得NOx的臭氧氧化具有很高的选择性。因为气相中的NOx被转化成溶于水溶液的离子化合物，这就使得氧化※反应更加有效，从而不可逆地脱除NOx，而不产生二︾次污染。经过氧化反应，加入的臭氧被反应所消耗，过量的臭氧可以在喷淋塔中分解。除了NOx之外，一些重金属，如汞及卐其他重金属污染物也同时被臭氧所氧化。烟气中高浓度的粉尘或固体颗粒物不会影响到NOx的脱除效率。

三、工艺特点：

1、深度脱硝，脱∑　硝效率高，可达到90%以上；并且脱硝效率可以根据臭氧注入量控制脱硝效率的高低。

2、不使█用催化剂，无催化剂中毒、反应器堵塞等问题，特别适用于催化剂颗粒物多的低温烟气脱硝工程。

3、维护费用△低，不存在催化剂定期更换等问题。

4、占地面积小，模块化设备可根据现场条件灵活布置。

四、工艺流程：

将臭氧注入混〖合反应装置内，使臭氧与烟气充分混合，将烟气中不溶于水的NO氧化成易溶于水的高价态氮←氧化物，包括NO₂，N₂O₃，N₂O₅，极短的时间内完成反应。然后进入吸收塔，喷淋碱性溶液将烟气中被氧化的氮氧化物吸收，确保NOx排放浓度在200mg/Nm3以下。

烟气脱硝系统按功能分为：

1、氧气源系统；

2、臭氧发生及注入系统；

3、湿法烟气吸收系统；

4、自动∴控制系统等四个子系统。